പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീൻ ഘടന

ICP ഉപകരണങ്ങൾ പ്രധാനമായും നാല് ഭാഗങ്ങൾ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു: പ്രീ-വാക്വം ചേമ്പർ, എച്ചിംഗ് ചേമ്പർ, ഗ്യാസ് വിതരണ സംവിധാനം, വാക്വം സിസ്റ്റം.

(1) പ്രീ{1}}വാക്വം ചേംബർ

പ്രി-വാക്വം ചേമ്പറിൻ്റെ പ്രവർത്തനം, എച്ചിംഗ് ചേമ്പർ ഒരു നിശ്ചിത വാക്വം ലെവലിൽ പരിപാലിക്കപ്പെടുന്നുവെന്നും, ബാഹ്യ പരിതസ്ഥിതി (പൊടി, ജലബാഷ്പം പോലുള്ളവ) ബാധിച്ചിട്ടില്ലെന്നും വൃത്തിയുള്ള മുറിയിൽ നിന്ന് അപകടകരമായ വാതകങ്ങളെ വേർതിരിച്ചെടുക്കുന്നുവെന്നും ഉറപ്പാക്കുക എന്നതാണ്. അതിൽ ഒരു കവർ, ഒരു മാനിപ്പുലേറ്റർ, ഒരു ട്രാൻസ്മിഷൻ മെക്കാനിസം, ഒരു ഐസൊലേഷൻ വാതിൽ മുതലായവ അടങ്ങിയിരിക്കുന്നു.

(2) എച്ചിംഗ് ചേമ്പർ

ഐസിപി എച്ചിംഗ് ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രധാന ഘടനയാണ് എച്ചിംഗ് ചേമ്പർ. ഇത് എച്ചിംഗ് നിരക്ക്, എച്ചിംഗിൻ്റെ ലംബത, പരുക്കൻത എന്നിവയിൽ നേരിട്ട് സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. എച്ചിംഗ് ചേമ്പറിൻ്റെ പ്രധാന ഘടകങ്ങൾ ഇവയാണ്: മുകളിലെ ഇലക്ട്രോഡ്, ഐസിപി റേഡിയോ ഫ്രീക്വൻസി യൂണിറ്റ്, ആർഎഫ് റേഡിയോ ഫ്രീക്വൻസി യൂണിറ്റ്, ലോവർ ഇലക്ട്രോഡ് സിസ്റ്റം, താപനില നിയന്ത്രണ സംവിധാനം മുതലായവ.

(3) ഗ്യാസ് വിതരണ സംവിധാനം

ഗ്യാസ് വിതരണ സംവിധാനം എച്ചിംഗ് ചേമ്പറിലേക്ക് വിവിധ എച്ചിംഗ് വാതകങ്ങൾ എത്തിക്കുക, കൂടാതെ പ്രഷർ കൺട്രോളർ (പിസി), മാസ് ഫ്ലോ കൺട്രോളർ (എംഎഫ്‌സി) എന്നിവയിലൂടെ ഗ്യാസ് ഫ്ലോ റേറ്റ്, ഫ്ലോ എന്നിവ കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കുക എന്നതാണ്. ഗ്യാസ് വിതരണ സംവിധാനം ഒരു ഗ്യാസ് സോഴ്സ് ബോട്ടിൽ, ഗ്യാസ് ഡെലിവറി പൈപ്പ്ലൈൻ, ഒരു നിയന്ത്രണ സംവിധാനം, ഒരു മിക്സിംഗ് യൂണിറ്റ് മുതലായവ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു.

(4) വാക്വം സിസ്റ്റം
രണ്ട് വാക്വം സിസ്റ്റങ്ങളുണ്ട്, ഒന്ന് പ്രീ-വാക്വം ചേമ്പറിനും മറ്റൊന്ന് എച്ചിംഗ് ചേമ്പറിനും. ഒരു മെക്കാനിക്കൽ പമ്പ് ഉപയോഗിച്ച് -വാക്വം ചേമ്പർ ഒഴിപ്പിക്കുന്നു. പ്രീ-വാക്വം ചേമ്പറിലെ വാക്വം ലെവൽ സെറ്റ് മൂല്യത്തിൽ എത്തുമ്പോൾ മാത്രമേ വേഫർ കൈമാറാൻ ഐസൊലേഷൻ ഡോർ തുറക്കാൻ കഴിയൂ. എച്ചിംഗ് ചേമ്പറിലെ വാക്വം ഒരു മെക്കാനിക്കൽ പമ്പും മോളിക്യുലാർ പമ്പും നൽകുന്നു. എച്ചിംഗ് ചേമ്പറിലെ പ്രതിപ്രവർത്തനം വഴി ഉണ്ടാകുന്ന വാതകങ്ങളും വാക്വം സിസ്റ്റം വഴി ഒഴിപ്പിക്കുന്നു.