LCD RF പ്ലാസ്മ ഉപകരണങ്ങൾ

LCD, OLED, മറ്റ് ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ ഡിസ്പ്ലേ മെറ്റീരിയലുകൾ എന്നിവയുടെ ഉപരിതല ചികിത്സയ്ക്കായി വികസിപ്പിച്ചെടുത്ത ഉയർന്ന-പ്രകടന സംവിധാനമാണ് LCD RF പ്ലാസ്മ ഉപകരണം. സുസ്ഥിരമായ പ്രോസസ്സിംഗും ഉയർന്ന ത്രൂപുട്ടും ഒരുപോലെ പ്രാധാന്യമുള്ള ആധുനിക നിർമ്മാണത്തിൻ്റെ കർശനമായ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനാണ് ഇത് രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്. മൊത്തത്തിലുള്ള സിസ്റ്റം 880mm × 790mm × 1710mm അളക്കുന്നു, ഒരു വാക്വം ചേമ്പർ വലുപ്പം 450mm × 450mm × 450mm ആണ്. ഓരോ ഇലക്‌ട്രോഡ് പ്ലേറ്റും 410mm × 430mm ആണ്, കൂടാതെ അഞ്ച് പാളികൾ വരെ ഒരു സൈക്കിളിൽ ഒരേസമയം പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ കഴിയും.

 

ഒരു പ്രവർത്തനപരമായ വീക്ഷണകോണിൽ, ഉപകരണം ഒരു ഉപയോക്തൃ-സൗഹൃദ HMI നൽകുന്നു, അത് RF ഔട്ട്‌പുട്ട് പവർ, വാക്വം പമ്പിംഗ് ദൈർഘ്യം, വ്യക്തിഗത ചികിത്സാ സെഗ്‌മെൻ്റുകൾ, ഗ്യാസ് ഫ്ലോ റേറ്റ് എന്നിവ പോലുള്ള പ്രധാന പ്രോസസ്സ് പാരാമീറ്ററുകൾ നേരിട്ട് ക്രമീകരിക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നു. വ്യാവസായിക പ്രവർത്തനങ്ങൾക്ക് വഴക്കവും സ്ഥിരതയും നൽകിക്കൊണ്ട് വ്യത്യസ്ത മെറ്റീരിയലുകളുമായോ പ്രോസസ്സ് ആവശ്യകതകളുമായോ പൊരുത്തപ്പെടുന്നതിന് ഈ ക്രമീകരണങ്ങൾ വേഗത്തിൽ പരിഷ്‌ക്കരിക്കാനാകും.

ഗ്യാസ് ഡെലിവറി സിസ്റ്റം മൂന്ന് സ്വതന്ത്ര ചാനലുകളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു, കൂടാതെ നൈട്രജൻ (N₂), ആർഗോൺ (Ar), ഹൈഡ്രജൻ (H₂), ഓക്സിജൻ (O₂) എന്നിവ കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ കഴിയും. ഫ്ലോ മീറ്ററുകൾ 0-200 മില്ലി/മിനിറ്റ് പരിധിക്കുള്ളിൽ കാലിബ്രേറ്റ് ചെയ്യപ്പെടുന്നു, നിയന്ത്രണ കൃത്യത 5%-ൽ താഴെയുള്ള ഏറ്റക്കുറച്ചിലുകൾ നിലനിർത്തുന്നു. എല്ലാ പ്രധാന ന്യൂമാറ്റിക് ഘടകങ്ങളും SMC ആണ് വിതരണം ചെയ്യുന്നത്, കൂടാതെ ചേംബർ സീലിംഗ് ഡ്യൂറബിൾ ഫ്ലൂറോ{5}}റബ്ബർ ഗാസ്കറ്റുകളെ ആശ്രയിക്കുന്നു, ഇത് ആവശ്യപ്പെടുന്ന പരിതസ്ഥിതികളിൽ ദീർഘകാല സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കുന്നു. 13.56 മെഗാഹെർട്‌സിൽ പ്രവർത്തിക്കുന്ന ഒരു സ്വയം-അഡാപ്റ്റീവ് RF പവർ സപ്ലൈയിലൂടെയാണ് പ്ലാസ്മ ജനറേറ്റുചെയ്യുന്നത്, പരമാവധി 1 kW ഔട്ട്‌പുട്ട്, ഏകീകൃത ചികിത്സയ്ക്ക് വിശ്വസനീയമായ ഊർജ്ജ വിതരണം ഉറപ്പുനൽകുന്നു.

ഘടനാപരമായി, ഓക്‌സിഡേഷനും നാശവും കുറയ്ക്കുന്നതിന് ഉയർന്ന-ശുദ്ധിയുള്ള 304 സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീലിൽ നിന്നാണ് ചേമ്പർ നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. സിസ്റ്റം വാക്വം ഇൻ്റഗ്രിറ്റിക്കായി ഒരു ഡ്യുവൽ-സീൽ ഡിസൈൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതേസമയം ചേമ്പറിൻ്റെ പിൻഭാഗത്തുള്ള കോപ്പർ ഇലക്‌ട്രോഡ് ഹോൾഡറുകൾ ഒന്നിലധികം സ്ക്രൂ ലോക്കുകളിലൂടെ തിരശ്ചീന ഇലക്‌ട്രോഡ് പ്ലേറ്റുകൾ സുരക്ഷിതമാക്കുന്നു, ഇത് സ്ഥിരതയും ഊർജ്ജ കൈമാറ്റവും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു. അധിക സൈഡ് സപ്പോർട്ടുകൾ ഇലക്ട്രോഡുകളെ കൂടുതൽ ശക്തിപ്പെടുത്തുന്നു. വാക്വം ബാലൻസ് ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്‌തു: ഒരു ദ്രുത-റിലീസ് വാൽവ് 5-10 സെക്കൻഡുകൾക്കുള്ളിൽ മർദ്ദം തുല്യമാക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നു, നിഷ്‌ക്രിയ സമയം കുറയ്ക്കുകയും ഉൽപ്പാദനക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

പ്രവർത്തന സുരക്ഷ ഉറപ്പാക്കാൻ, മെഷീനിൽ ഒരു തെറ്റായ അലാറം സിസ്റ്റം സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു. ഇത് ഏതെങ്കിലും അസാധാരണ സംഭവത്തിൻ്റെ തീയതി, സമയം, കാരണം എന്നിവ രേഖപ്പെടുത്തുന്നു, അതേസമയം ചേമ്പറും വർക്ക്പീസുകളും സംരക്ഷിക്കുന്നതിന് യാന്ത്രിക ഷട്ട്ഡൗൺ ട്രിഗർ ചെയ്യുന്നു.

ആപ്ലിക്കേഷൻ്റെ കാര്യത്തിൽ, ഫ്ലിപ്പ്-ചിപ്പ് അണ്ടർഫിൽ പ്രോസസ്സുകൾക്കായി ഈ ഉപകരണം വ്യാപകമായി സ്വീകരിക്കപ്പെടുന്നു. അണ്ടർഫില്ലിന് മുമ്പുള്ള പ്ലാസ്മ ക്ലീനിംഗ് ഉപരിതല സജീവമാക്കൽ ഗണ്യമായി വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു, ഈർപ്പം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു, കൂടാതെ അടിവസ്ത്രത്തിനും എൻക്യാപ്സുലൻ്റിനുമിടയിലുള്ള അഡീഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. തൽഫലമായി, ഇത് പാക്കേജിംഗ് ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുക മാത്രമല്ല, വിപുലമായ ഡിസ്പ്ലേയുടെയും അർദ്ധചാലക അസംബ്ലികളുടെയും ദീർഘകാല- വിശ്വാസ്യത വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.

ഹോട്ട് ടാഗുകൾ: എൽസിഡി ആർഎഫ് പ്ലാസ്മ ഉപകരണങ്ങൾ, ചൈന എൽസിഡി ആർഎഫ് പ്ലാസ്മ ഉപകരണ നിർമ്മാതാക്കൾ, ഫാക്ടറി