പ്ലാസ്മ ക്ലീനറുകളുടെ പ്രത്യേക ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ

പ്ലാസ്മ ക്ലീനിംഗ്/എച്ചിംഗ് മെഷീനുകൾ ഒരു ഇലക്ട്രിക് ഫീൽഡ് സൃഷ്ടിക്കുന്നതിനായി രണ്ട് ഇലക്ട്രോഡുകൾ അടച്ച പാത്രത്തിൽ സ്ഥാപിച്ച് പ്ലാസ്മ ഉണ്ടാക്കുന്നു. ഒരു നിശ്ചിത വാക്വം ലെവൽ നിലനിർത്താൻ ഒരു വാക്വം പമ്പ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. വാതകം കൂടുതൽ അപൂർവ്വമായി മാറുന്നതിനനുസരിച്ച്, തന്മാത്രകൾ തമ്മിലുള്ള അകലം, തന്മാത്രകളുടെയോ അയോണുകളുടെയോ സ്വതന്ത്ര ചലനവും വർദ്ധിക്കുന്നു. വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തിൻ്റെ സ്വാധീനത്തിൽ, ഈ അയോണുകൾ കൂട്ടിയിടിച്ച് പ്ലാസ്മ രൂപപ്പെടുന്നു. ഈ അയോണുകൾ ഉയർന്ന പ്രതിപ്രവർത്തനം ഉള്ളവയാണ്, മിക്കവാറും എല്ലാ കെമിക്കൽ ബോണ്ടുകളും തകർക്കാൻ ആവശ്യമായ ഊർജ്ജം, ഏത് തുറന്ന പ്രതലത്തിലും രാസപ്രവർത്തനങ്ങൾ ഉണ്ടാക്കുന്നു. വ്യത്യസ്ത വാതക പ്ലാസ്മകൾക്ക് വ്യത്യസ്ത രാസ ഗുണങ്ങളുണ്ട്. ഉദാഹരണത്തിന്, ഓക്സിജൻ പ്ലാസ്മ ഉയർന്ന ഓക്സിഡൈസിംഗ് ആണ്, വാതകം ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്നതിന് ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റിനെ ഓക്സിഡൈസ് ചെയ്യാൻ കഴിയും, അങ്ങനെ ഒരു ക്ലീനിംഗ് പ്രഭാവം കൈവരിക്കുന്നു. നശിപ്പിക്കുന്ന വാതക പ്ലാസ്മയ്ക്ക് മികച്ച അനിസോട്രോപ്പി ഉണ്ട്, ഇത് എച്ചിംഗിൻ്റെ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നു. പ്ലാസ്മ ചികിത്സ ഒരു തിളക്കം ഉണ്ടാക്കുന്നു, അതിനാൽ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് എന്ന് പേര്.
പ്ലാസ്മ ക്ലീനിംഗ് സംവിധാനം പ്രാഥമികമായി ഉപരിതല കറ നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനായി പ്ലാസ്മയിലെ സജീവമായ കണങ്ങളുടെ "സജീവമാക്കൽ" അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ളതാണ്. പ്രതികരണ സംവിധാനത്തിൻ്റെ അടിസ്ഥാനത്തിൽ, പ്ലാസ്മ ക്ലീനിംഗ് സാധാരണയായി ഇനിപ്പറയുന്ന പ്രക്രിയ ഉൾക്കൊള്ളുന്നു: അജൈവ വാതകങ്ങൾ പ്ലാസ്മ അവസ്ഥയിലേക്ക് ഉത്തേജിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു; വാതക പദാർത്ഥങ്ങൾ ഖര പ്രതലത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുന്നു; അഡ്‌സോർബ്ഡ് ഗ്രൂപ്പുകൾ ഖര പ്രതലത്തിലെ തന്മാത്രകളുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിച്ച് ഉൽപ്പന്ന തന്മാത്രകൾ ഉണ്ടാക്കുന്നു; ഉൽപ്പന്ന തന്മാത്രകൾ വാതക ഘട്ടത്തിലേക്ക് വിഘടിക്കുന്നു; കൂടാതെ പ്രതികരണ അവശിഷ്ടങ്ങൾ ഉപരിതലത്തിൽ നിന്ന് നീക്കം ചെയ്യപ്പെടുന്നു.

ലോഹങ്ങൾ, അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, ഓക്‌സൈഡുകൾ, പോളിപ്രൊഫൈലിൻ, പോളിസ്റ്റർ, പോളിമൈഡ്, പോളി വിനൈൽ ക്ലോറൈഡ്, എപ്പോക്സി, പോളിടെട്രാഫ്ലൂറോഎത്തിലീൻ തുടങ്ങിയ മിക്ക പോളിമർ വസ്തുക്കളും ഉൾപ്പെടെ ഏത് തരം സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് തരങ്ങളെയും ചികിത്സിക്കാൻ കഴിയും എന്നതാണ് പ്ലാസ്മ ക്ലീനിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ ഏറ്റവും പ്രധാനപ്പെട്ട സവിശേഷത. ഇതിന് മുഴുവൻ ഉപരിതലവും നിർദ്ദിഷ്ട പ്രദേശങ്ങളും സങ്കീർണ്ണമായ ഘടനകളും വൃത്തിയാക്കാൻ കഴിയും.